エッチング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内澄夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351140
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177073
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】エッチング処理する反応室内でエッチングガスの分圧を管理して、エッチング処理するエッチング装置を提供する。【構成】エッチング装置は、エッチングガスにより処理を行う反応室(1)と、複数のウエハーを支持するウエハーボート(5)に移載する搬送室(2)とから構成される。ウエハーボート(5)は移動機構(13、14、15)により搬送室(2)から反応室(1)へ移動する。反応室(1)内の圧力はセンサーにより検知される。反応室(1)と搬送室(2)とは、フランジ(8)およびOリングにより気密に分離させる。圧力センサーにより反応室(1)内のエッチングガスの分圧を管理してエッ処理する。

請求項（抜粋）：

エッチング装置であって、非処理物を収納し、エッチングガスで処理するための反応室と、該反応室を排気するための、反応室に連結された排気手段と、前記反応室内の圧力を検知するセンサー手段と、から成り、前記反応室を排気した後、あるいは排気しながら、エッチングガスを前記反応室に導入し、前記センサー手段により反応室内の圧力を検知することでエッチングガスの分圧を管理して、エッチング処理することを特徴とするエッチング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/302 , C23F 1/12

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開平3-055841
特開平2-166732
特開昭62-204528

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