特許
J-GLOBAL ID：200903060780573269
バリウムドープされた内壁を有するシリカガラスるつぼ
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
石原 詔二
, 石原 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-241832
公開番号（公開出願番号）：特開2008-081398
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】失透を促進するためのバリウムドープされた最も内側の層と、長期にわたる操作のために十分に厚く、気泡及び気泡成長のない中間層とを含み、複数回のインゴット引き上げの間で膨張をほとんど示さない安定した外側層を含むシリカガラスるつぼの提供。【解決手段】シリカガラスるつぼは、バリウムドープされた薄い内側層と、安定した無気泡中間層と、安定した不透明外側層とを含む。成形された粒子が緻密な溶融シリカに融解される溶融前線において動力学的なガスバランスを制御する。るつぼは、チョクラルスキー工程の間、減少した気泡成長を示す。バリウムドープされた薄い層及び減少した気泡成長の結果として、るつぼの内側表面は、CZ工程の間に、均一に最小限に組織化される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
溶融シリカるつぼの製造方法であって、
回転するモールドの内側表面に沿ってバルクシリカ粒子を供給し、それにより該バルクシリカ粒子を、該モールドの内部空間に開放された半径方向に内側の表面と該モールドの内壁に隣接する半径方向に外側の表面とを有するるつぼ形状に配置すること、
前記モールドの内部空間から前記バルクシリカ粒子を加熱すること、
前記バルクシリカ粒子を通して、前記モールドの内壁に分配されたポート内に空気を吸引すること、
前記加熱された粒子からガスを発生させること、
半径方向に内側の表面から始まり半径方向に外側の表面に向かって進行する溶融前線を確立すること、
前記シリカ粒子が約2ミリメートルよりも大きい透明なガラス層を形成するまで、ガスが導入されるよりも速い速度で前記溶融前線からガスを吸引する、前記溶融前線と前記モールドの内壁との間の圧力差を維持すること、
その後、ガスが導入されるよりも遅い速度で前記溶融前線からガスが吸引される速度に、前記溶融前線と前記モールドの内壁との間の圧力差を減少させること、
バリウムドープされたシリカ粒子を前記透明なガラス層上に供給すること、及び
前記バリウムドープされたシリカ粒子を前記透明なガラス層上に溶融させること
を含む、溶融シリカるつぼの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4G014AH00
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG01
, 4G077EG02
, 4G077HA12
, 4G077PD01
, 4G077PD05
