特許
J-GLOBAL ID：200903060783692030
マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241934
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074819
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】薄膜の基板に対する付着強度を測定するマイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法を提供する。【解決手段】マイクロスクラッチ試験機を使用して薄膜付着強度測定を行う方法において、マイクロスクラッチ試験機の圧子針1から電気信号をフーリエ分解し、基板7上の薄膜8の損傷を反映する周波数成分を積分することで、薄膜の臨界損傷荷重を測定するようにしたことを特徴とするマイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法。
請求項（抜粋）：
マイクロスクラッチ試験機を使用して薄膜付着強度測定を行う方法において、マイクロスクラッチ試験機の圧子針から電気信号をフーリエ分解し、基板上の薄膜の損傷を反映する周波数成分を積分することで、薄膜の臨界損傷荷重を測定するようにしたことを特徴とするマイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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