特許
J-GLOBAL ID：200903060783964200
研磨機の除熱方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078290
公開番号（公開出願番号）：特開平5-237761
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハのような片面あるいは両面を平坦に研磨仕上げする被研磨材の研磨機において、被研磨材の接する定盤体および研磨布の高熱化を防止し、被研磨物の平坦度および面粗さの向上を図る除熱方法と装置を提供する。【構成】 表面が平坦な定盤体と、該定盤体を回転駆動する駆動部と、定盤体の表面に敷設される研磨布と、被研磨材を保持して回転駆動する被研磨材保持ヘッドと、研磨剤供給手段と、研磨材および冷却水の冷却手段8から構成され、前記定盤体にはその表面又は表面に近い裏面に冷却用媒体の通過する溝部を形成し、該溝部を介して定盤体を冷却してその表面の平坦度を保持する。【効果】 平坦度の向上と生産性の向上が図れる。
請求項（抜粋）：
回転する平坦な定盤体の表面に研磨布を敷設し、該研磨布に被研磨材を圧接させながら回転させ両者間に研磨剤を供給して平面研磨を行う研磨機の除熱方法であって、前記定盤体の表面又は表面に近い裏面側に、且つ全域にわたり、溝部を形成し、この溝部を利用して、その表面上部から伝達される熱を除去しながら研磨加工をすることを特徴とする研磨機の除熱方法。
引用特許：
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