非接触搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-196555
公開番号（公開出願番号）：特開2009-032980
出願日： 2007年07月27日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：

【課題】搬送中に保持ハンドからワークWが脱落することを防止しつつ、搬送中におけるワークWの損傷の発生を十分に抑制することができる非接触搬送装置を提供する。【解決手段】ハンド本体7の保持面9にベルヌーイチャック11が設けられ、ベルヌーイチャック11が作動流体供給源15に接続した噴出孔13を有し、ハンド本体7の保持面9にワークWの周辺部を吸着する複数の吸着ピン19が設けられ、各エアを吸込み可能かつエアを吸引するエア吸引源23に接続した吸込孔21をそれぞれ有し、上方向から非接触で保持されたワークWに作用する圧力とワークWの重量がつりあう所定の均衡状態におけるハンド本体7の保持面9とワークWの表面とのクリアランスL分だけハンド本体7の保持面9に対してそれぞれ突出するようになっていること。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状のワークを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、前記保持ハンドは、前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有したハンド本体と、前記ハンド本体の前記保持面に設けられ、作動流体を噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した噴出孔を有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させるベルヌーイチャックと、前記ハンド本体の前記保持面に設けられ、エアを吸込み可能かつエアを吸引するエア吸引源に接続した吸込孔をそれぞれ有し、上方向から非接触で保持されたワークに作用する圧力とワークの重量がつりあう所定の均衡状態における、前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面とのクリアランス分だけ前記ハンド本体の前記保持面に対してそれぞれ突出するようになってあって、ワークの周辺部を吸着する複数の吸着ピンとを備えたことを特徴とする非接触搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , B65G 49/07 , B25J 15/06

FI (6件)：

H01L21/68 C , B65G49/07 H , B65G49/07 G , H01L21/68 B , B25J15/06 M , B25J15/06 Z

Fターム (13件)：

3C007FS01 , 3C007FS04 , 3C007FT10 , 3C007FT12 , 3C007NS09 , 3C007NS13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA24 , 5F031GA28 , 5F031PA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

物品ホルダ及び保持方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-010210 出願人：トルーサイテクノロジーズ,エルエルシー

審査官引用 (5件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351547 出願人：明石博
特開昭61-229750
特開昭61-229750

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