特許

J-GLOBAL ID：200903060795564061

イオン注入装置

発明者： 小西 正志
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193282
公開番号（公開出願番号）：特開平10-040854
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 複数の被処理基板をロット単位に管理してイオン注入処理するイオン注入装置であり、該基板に対するイオン注入処理中の運転データや、イオン注入処理が正常に終了したか否か等を検索する上で、すべての基板に対して検索しやすく、それだけ基板の管理がしやすいイオン注入装置を提供する。【解決手段】 コンピュータ3の記憶装置には、ロット番号、基板番号及びイオン注入処理データをこの順に階層的に関連付けて記憶させ、ディスプレイ31は、ロット番号を表示している場合に、該カセット番号のうちいずれか一つが指定されたときは、該ロット番号のカセットに収納されている基板の基板番号を表示させ、該基板番号を表示している場合に、該基板番号のうちいずれか一つが指定されたときは、該基板番号の基板に対する前記イオン注入処理データを表示させる。

請求項（抜粋）：

基板番号を与えられた複数枚の被処理基板が収納されており、ロット番号が与えられているカセットから前記基板を取り出し、設定データに基づいて該基板にイオン注入を行うイオン注入装置であり、イオン注入された基板について、該基板の収納されていた前記カセットに与えられているロット番号、該ロット番号のカセットにおける該基板の基板番号及び該基板に対するイオン注入処理データを記憶する記憶手段を備えており、前記記憶手段は、前記ロット番号のリストの読み出し、該ロット番号リストにおいて指定したロット番号における基板番号リスト及び該基板番号リストにおける基板番号の基板についてのイオン注入が正常終了したか否かの情報の読み出し、並びに該基板番号リストにおいて指定した基板番号の基板のイオン注入データの読み出しを行えるように、前記ロット番号、基板番号及びイオン注入処理データを、第1の階層に前記ロット番号、該第1階層の下層となる第2の階層に前記基板番号、該第2階層の下層となる第3の階層に前記イオン注入処理データとなるように階層的に関連付けて記憶し、且つ、前記第2の階層には前記基板番号に対応させて該基板番号の基板に対するイオン注入が正常に終了したか否かを示す前記イオン注入処理データに基づく情報も記憶することを特徴とするイオン注入装置。

IPC (3件)：

H01J 37/317 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/265

FI (4件)：

H01J 37/317 B ,  H01J 37/317 Z ,  H01J 37/20 B ,  H01L 21/265 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 解析知識管理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-258555   出願人：富士通株式会社