特許

J-GLOBAL ID：200903060800271906

触媒燃焼式ガスセンサ

発明者： 駒林 正士
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215905
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010901
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 周囲温度に対する補償回路が不必要で、断線の心配がなく、しかも高感度化を実現することができる触媒燃焼式ガスセンサを提供する。【構成】 ガラス基板11上にパターン12を被着、形成する。パターン12に線材13と線材14とが交互に直列に接続させ、全体として櫛歯状に配設する。線材13としてp型FeSi2を、線材14としてn型FeSi2を組合せる。パターン12における線材13,14の延在する方向(図1中矢印方向)の両端側(折り返し部分)にて、線材13と14とを接続する。パターン12をアルミナ膜15により被覆する。上記線材13,14の接続部の一端側のみを、アルミナ膜15を介して白金の触媒を含むアルミナ被膜16でコーティングする。この熱電対パターン12にて被膜16によるコーティング部が温接点として、コーティングしていない側が冷接点として、それぞれ機能し、検知対象の可燃性ガスにふれて触媒が発熱すると、熱起電力が発生する。これにより可燃性ガスの存在を検出する。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板と、この絶縁性基板上に配設された熱電対パターンと、この熱電対パターンの一端部上に絶縁膜を介して被着された触媒担体と、を備えたことを特徴とする触媒燃焼式ガスセンサ。