特許

J-GLOBAL ID：200903060812607870

弾性表面波ジャイロスコープ

発明者： 樋口 俊郎 ,  黒澤 実
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068934
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281465
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 基板表面に適当な分布形状をした電極を配置することにより、コリオリ力の変化を電圧の変化として検出し、回転角速度を検出可能な、高性能で、かつ小型化された弾性表面波ジャイロスコープを提供する。【構成】 圧電基板10と、この圧電基板10の中央に配置される検出用電極15と、この検出用電極15の両外側に配置される一対の駆動用電極13,14と、この一対の駆動用電極13,14の両外側に配置される一対の反射器用電極11,12とを備え、駆動用電極13,14に高周波電源が接続され、駆動用電極13,14からの駆動力により弾性波が励振され、回転運動との相互作用により生じるコリオリ力に起因し、圧電効果によって生ずる表面電荷による電圧を検出用電極15により検出するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

(a)弾性媒体と、(b)該弾性媒体の表面に形成され、高周波電源が接続される駆動用電極と、(c)該駆動用電極からの駆動力により弾性波が励振され、回転運動との相互作用により生じるコリオリ力に起因し、圧電効果によって生ずる表面電荷による電圧を検出する検出用電極とを具備することを特徴とする弾性表面波ジャイロスコープ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-241308
  
• 特開昭61-256217
  
• 特開昭61-023913