特許
J-GLOBAL ID：200903060812943705
積層型圧電アクチュエータ素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-104194
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270540
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】 積層型圧電アクチュエータ素子の焼成時の保護層部分と圧電層部分の収縮率を一致させ、焼結体にクラック、歪みが発生せず焼成時の不良率を大幅に低減させることを目的とする。【解決手段】 電歪材料と内部電極とが交互に積層され、前記内部電極が一層おきに一対の外部電極と接続された圧電層と、該圧電層の上下に保護層を有する積層型圧電アクチュエータ素子において、前記保護層が電歪材料と外部電極に接続されない金属層とを交互に積層して成ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電歪材料と内部電極とが交互に積層され、前記内部電極が1層おきに一対の外部電極と接続された圧電層と、該圧電層の上下に保護層を有する積層型圧電アクチュエータ素子において、前記保護層が電歪材料と外部電極に接続されない金属層とを交互に積層して成ることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
