特許
J-GLOBAL ID：200903060815524967
スピン処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-151048
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340947
出願日： 1997年06月09日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 この発明は半導体ウエハのロック状態を簡単な機構で解除できるようにしたスピン処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 回転体12に周方向に所定間隔で回転自在に立設され半導体ウエハUを支持する支持ピン21および半導体ウエハの周辺部を保持するロックピン22が設けられた複数の保持部材17と、回転体の下面側に回転自在に設けられた親歯車25と、各保持部材の下端部にそれぞれ親歯車と噛合して設けられた子歯車23と、ロックピンが半導体ウエハを保持する回転方向に保持部材を親歯車および子歯車を介して付勢した捩じりコイルばね26と、親歯車の回転を阻止した状態でパルス制御モ-タ9により回転体を保持部材に与えられた捩じりコイルばねによる付勢力に抗して回転させることでロックピンによる半導体ウエハの保持状態を解除する解除機構31とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ワ-クを保持して回転させることで処理するスピン処理装置において、カップ体と、このカップ体内に配設された回転体と、この回転体を回転駆動する駆動手段と、上記回転体の径方向周辺部に周方向に所定間隔で回転自在に立設され上端に上記ワ-クの下面周辺部を支持する支持ピンおよび偏心回転して上記ワ-クの周辺部を保持するロックピンが設けられた複数の保持部材と、上記回転体の下面側にこの回転体に対して回転自在に設けられた親歯車と、各保持部材の下端部にそれぞれ上記親歯車と噛合して設けられた子歯車と、上記ロックピンが上記ワ-クの周辺部を保持する回転方向に上記保持部材を上記親歯車および子歯車を介して弾性的に付勢した付勢手段と、上記親歯車と係合しこの親歯車が上記回転体と一緒に回転するのを阻止するとともに親歯車の回転を阻止した状態で上記駆動手段により上記回転体を上記保持部材に与えられた上記付勢手段による付勢力に抗して回転させることで上記ロックピンによる上記ワ-クの保持状態を解除する解除手段とを具備したことを特徴とするスピン処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/06 304
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304 351
H01L 21/68 P
, B23Q 3/06 304 Z
, H01L 21/304 341 C
, H01L 21/304 351 S
