特許

J-GLOBAL ID：200903060818619608

基板保持搬送方法、基板ホルダ、基板搬送装置、基板保持搬送装置及び露光装置

発明者： 菊地 秀和 ,  前田 栄裕
出願人/特許権者： 株式会社仙台ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-290940
公開番号（公開出願番号）：特開2004-128249
出願日： 2002年10月03日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】基板の上げ下げ作業とエンドエフェクタの入れ出し作業を一つの機構で行うとともに、基板を安定に保持できる基板保持搬送方法等を提供する。【解決手段】基板保持搬送装置1は、基板ホルダ10と基板搬送装置20とから構成される。基板搬送装置20のエンドエフェクタ25は、基板の縁部を支持する基板支持部29を有する2又状のアーム27を備える。基板ホルダ10の吸着盤11は、基板のほぼ全面を吸着する吸着面13と、吸着盤の端面に沿って、吸着面13下に掘り込まれたエンドエフェクタの侵入溝15と、侵入溝から吸着面に通じる、エンドエフェクタの基板支持部29が通過可能な切り欠き17とを有する。基板支持部29は、溝15及び切り欠き17を通過し、基板の縁部の3ヶ所に下から当てて基板を持ち上げて搬送する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板ホルダの吸着盤の端面に沿って前記吸着面下に溝を掘り込み、該溝から前記吸着面に通じる切り欠きを設けておき、 前記基板ホルダの吸着盤の吸着面のほぼ全面で吸着して基板を保持するとともに、 前記溝及び切り欠きを通してエンドエフェクタの基板支持部を該基板の縁部の3ヶ所に下から当てて該基板を持ち上げて搬送することを特徴とする基板保持搬送方法。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 P ,  H01L21/68 R ,  B65G49/07 C ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502J

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA05 ,  5F031GA06 ,  5F031GA43 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA32 ,  5F031MA27 ,  5F046CC10 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-096982   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• ガラス基板搬送装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-051286   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社