特許

J-GLOBAL ID：200903060827744059

磁気ヘッドの製造方法

発明者： 豊田 篤志 ,  伊藤 勝実 ,  篠田 圭一
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 長谷 照一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129104
公開番号（公開出願番号）：特開平11-328642
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 真直度が高くて歩留まりが向上した素子列が得られるようにする。【解決手段】 薄膜磁気ヘッド素子が縦方向の素子列となるように多数形成された磁気ヘッドウェハーの複数の素子列を1ブロック20としてブロック毎に切断した後、このブロック20をホルダー53に接着する。このホルダー53を角度調整治具52およびラップ治具51に取り付けた後、温水に浸漬する熱アニールを行う。この後、ブロック20が接着されたホルダー53が取り付けられたラップ治具51をラップ盤56上に載置し、ブロック20の最下段の素子列のABS面をラッピングする。この後、ABS面がラッピングされた素子列をブロック20より切断した後、切断された素子列を除くブロック20の最先端の素子列のABS面を再度ラッピングする工程とABS面がラッピングされた素子列をブロック20より切断する工程を素子列の個数に対応する回数分だけ繰り返して行う。

請求項（抜粋）：

記録媒体が回転することにより同記録媒体との対向面が同記録媒体に対して浮上する磁気ヘッドの製造方法であって、薄膜磁気ヘッド素子がその縦方向および横方向に多数形成された磁気ヘッドウェハーの同素子の複数の素子列を1ブロックとしてこのブロック毎に同磁気ヘッドウェハーを切断するブロック切断工程と、前記各ブロックをラップ治具のホルダーに熱可塑性の接着剤で接着した後、このホルダーを角度調整治具を介してラップ治具に固定する固定工程と、前記ホルダーに接着された各ブロックと前記角度調整治具および前記ラップ治具とを温水に浸漬してブロックに及んだ歪みを除去する熱アニール工程と、前記ラップ治具を研磨盤上に載置して同ラップ治具のホルダーに接着された前記ブロックの先端の素子列のABS面をラッピングするラッピング工程と、前記ラップ治具を研磨盤上より取り外し、このラップ治具を横向きにして前記ABS面がラッピングされた素子列を前記ラップ治具に装着されたまま前記ブロックより切断する素子列切断工程とを備え、前記素子列切断工程により切断された素子列を除く残りのブロックの最先端の素子列のABS面をラッピングするラッピング工程と同ラッピング工程によりABS面がラッピングされた素子列を前記ラップ治具に装着されたまま同ブロックより切断する素子列切断工程とを前記ブロックを形成する素子列の個数に対応する回数分だけ繰り返して行うようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

G11B 5/60 ,  G11B 5/31 ,  G11B 21/21 101

FI (3件)：

G11B 5/60 C ,  G11B 5/31 M ,  G11B 21/21 101 L