特許
J-GLOBAL ID：200903060829654243
波面補償装置、波面補償方法、プログラム、及び、記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
北澤 一浩
, 小泉 伸
, 市川 朗子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-110303
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292662
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 波面を精密に補償できる波面補償装置、波面補償方法、プログラムおよび記録媒体を提供する。【解決手段】 波面変調デバイス40が入射光を位相変調して位相変調光を生成する。波面検出デバイス60が位相変調光を多点スポット画像に変換して撮影し、多点スポット画像の画像信号を制御装置80に送出する。制御装置80は、多点スポット画像のスポット重心と参照重心との差を重心シフトとして計算し、重心シフトと多項式の1次微分式との関係式に最小2乗法を適用して多項式の重み係数を算出して波面方程式を求める。波面方程式に各制御点の座標を代入することにより制御点毎の残差波面を算出し、帰還制御データを求め、さらにルックアップテーブルにより帰還制御データを制御信号に変換する。制御装置80は、制御信号を波面変調デバイス40に閉ループフィードバックすることにより、入射光の波面30を補償し、理想的な波面70を出力する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の制御点が2次元状に配置された変調部を備え、前記変調部に入射した読み出し光の位相を前記制御点毎に変調する電気アドレス型空間光位相変調装置と、
複数のレンズが2次元状に配置され、前記電気アドレス型空間光位相変調装置で位相が変調された読み出し光を複数のスポットからなる多点スポット画像に変換するレンズアレイと、
前記多点スポット画像の光強度分布を検出する画像検出手段と、
前記検出された光強度分布に基づき前記複数のスポットの重心位置を示す複数のスポット重心を演算し、演算された前記複数のスポット重心と予め設定された複数の参照重心との差を示す複数の重心差を計算する重心差演算手段と、
演算された前記複数の重心差を最小2乗法を用いて所定の多項式の1次微分式にフィッティングすることより、所定の多項式の重み係数を求める重み係数演算手段と、
演算された前記重み係数を用いて各制御点の座標に対応する値を前記所定の多項式に代入することにより、前記制御点毎の残差歪を求める残差歪演算手段と、
演算された各制御点の前記残差歪に基づいて前記制御点用の閉ループ制御データを求める制御データ演算手段と、
前記電気アドレス型空間光位相変調装置の各制御点を前記閉ループ制御データに基づいて制御する制御手段とを備えることを特徴とする波面補償装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02F1/061 503
, G02F1/13 505
2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA03
, 2H079DA08
, 2H079GA05
, 2H079KA14
, 2H088EA44
, 2H088EA47
, 2H088EA55
, 2H088EA62
, 2H088HA01
, 2H088HA02
, 2H088HA03
, 2H088HA06
, 2H088HA18
, 2H088HA21
, 2H088HA24
, 2H088HA25
, 2H088HA28
, 2H088JA05
, 2H088JA09
, 2H088KA05
, 2H088MA20
