特許
J-GLOBAL ID：200903060831546873
大型基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070288
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268209
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 大型の液晶基板を傾斜させて検査するため、試料ホルダに揺動機能を付加し液晶基板を水平状態から傾斜させる機構を組み込むことにより、専用の角度変更装置を不要として占有スペースを少なくする。【解決手段】 後方に傾斜して支持されるベース21にステージ22をスライド可能に取り付け、液晶基板1を保持する試料ホルダ24をステージ22に取り付ける。試料ホルダ24は支持軸23を中心としてステージ22に対して揺動可能となっており、この揺動をロック機構25がロックする。ロック機構25のロック解除によって、試料ホルダ24が傾斜位置及び水平位置を揺動でき、水平位置で液晶基板1の受け渡しを行う。
請求項（抜粋）：
後方に傾斜したベースの傾斜面に沿って少なくとも一方向に移動可能に取り付けられた大型基板用ステージを備えた大型基板検査装置であって、このステージに揺動可能に取り付けられ、受け渡される大型基板を保持する試料ホルダと、この試料ホルダに係合して同ホルダの揺動をロックすると共に、係合解除によってロックを解除するロック機構と、前記試料ホルダが前記大型基板の受け渡し位置及びステージの支持位置の間で揺動するように試料ホルダに揺動力を付与する揺動機構とを備え、前記大型基板用ステージの裏側から前記ホルダに大型基板を受け渡すことを特徴とする大型基板検査装置。
IPC (5件)：
G02B 21/24
, B65G 49/06
, G01N 1/00 101
, G02B 21/00
, G02F 1/1333 500
G02B 21/24
, B65G 49/06 Z
, G01N 1/00 101 A
, G02B 21/00
, G02F 1/1333 500
