特許

J-GLOBAL ID：200903060831625102

洗浄装置

発明者： 藤岡 雅浩
出願人/特許権者： 島田理化工業株式会社
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093820
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275746
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】洗浄の際に被洗浄物に与える損傷を軽減するとともに、気泡などが洗浄液に発生することを防止して、洗浄液に発生する気泡などによる洗浄むらの発生を防止する。また、被洗浄物の洗浄および乾燥を同一の装置内で連続して行うことができるようにして、装置全体の小型化を図るとともにコストを低減する。【構成】被洗浄物10を設置する試料台12と、試料台12に設置された被洗浄物10に対して高圧気体を噴射する噴射ノズル16と、試料台12を移動する駆動装置14と、洗浄液36を霧化して粒子化した洗浄液を発生し、噴射ノズル16による高圧気体の噴射領域へ供給する超音波霧化器26とを有する。

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面に付着した付着物を前記被洗浄物から除去するための洗浄装置において、被洗浄物に対して高圧気体を噴射する高圧気体噴射手段と、前記高圧気体噴射手段による高圧気体の噴射領域へ粒子化した洗浄液を供給する粒子化洗浄液供給手段とを有し、前記高圧気体噴射手段から噴射される高圧気体に、前記粒子化洗浄液供給手段から供給される粒子化された洗浄液を担わせて、前記粒子化された洗浄液を担った高圧気体が前記被洗浄物に噴射されることにより、前記被洗浄物の表面に付着した付着物を前記被洗浄物から除去するようにしたことを特徴とする洗浄装置。

IPC (3件)：

B05B 3/02 ,  B05B 15/12 ,  B08B 5/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-061859
  
• 特開平4-083566
  
• 特開昭64-067272