特許
J-GLOBAL ID：200903060840604452
板状物収納容器およびその蓋開口装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160049
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175321
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】発塵量が少なく、半導体素子などの製品の歩留り向上を図ることが可能で、かつ略水平にも略垂直にも載置可能な基板収納容器およびその蓋開口装置を提供する。【構成】基板収納容器は、基板10を略々水平に保持する保持部1aを有する下皿1と、基板10の上面に空隙を設けるよう配置された上蓋2と、前記空隙内で基板10を保持部1aに対して弾性的に押さえ付ける押付部材2aと、上蓋2に支持されて下皿1の端部に係合する係合部材3を有し係合部材3により上蓋2が押付部材2aの反力で上向に開くことを防ぐ固定機構と、前記固定手段の一部に突出し前記固定機構を蓋開け方向と同方向に押圧することで前記係合部材を解除する解除部3cとを具備し、上蓋の外周と下皿の外周とが略同一寸法である。この容器を開閉する蓋開口装置は、下皿1を保持する下皿保持部材21と、上蓋を保持する上蓋保持部材22と、上蓋2を開閉する際、下皿1と係合部材3との間に空隙を生じさせた後係合部材3を解除または係合させる上蓋開閉機構とを具備する。
請求項（抜粋）：
レチクル等の板状物を略々水平に保持する保持部を有する下皿と、前記板状物の上面に空隙を設けるよう配置された上蓋と、前記空隙内で前記板状物を前記保持部に対して弾性的に押さえ付ける押付部材と、前記上蓋に支持されて前記下皿の端部に係合する係合部材を有し該係合部材により前記上蓋が前記押付部材の反力で上向に開くことを防ぐ固定手段と、前記固定手段の一部に突出し前記固定手段を蓋開け方向と同方向に押圧することで前記係合部材を解除する解除部とを具備することを特徴とする板状物収納容器。
IPC (2件)：
引用特許：
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