特許
J-GLOBAL ID：200903060847908864
洗浄槽
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159958
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349804
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 ウェハ等のワークを洗浄する洗浄槽において、洗浄液が個々のワークの間をよく流れ洗浄作用を高めることを可能とする。【構成】 槽本体1の底部及びワーク2の並べられる配列方向に沿う両側壁部を二重構造とすると共に、この二重構造部の内側壁面(5,6a,6b)には多数の液流通孔7,8a,8bをあけ、その二重構造部分に外部から圧力液を供給して上記配列されたワーク2に向けて液を押し出すようにしたものである。これにより、ワーク2の部分を下から上に向かう流れが強制的に形成され、洗浄液3が個々のワーク2の間をよく流れて洗浄作用を高めることができる。
請求項（抜粋）：
上面部が開口された容器状の槽本体を有し、この槽本体の内部に洗浄対象のワークを所定ピッチで並べると共に洗浄液を充満させ、さらに槽本体の内部に外部から液を供給して下から上に向かう流れを形成して上記ワークを洗浄する洗浄槽において、上記槽本体の底部及びワークの並べられる配列方向に沿う両側壁部を二重構造とすると共に、この二重構造部の内側壁面には多数の液流通孔をあけ、その二重構造部分に外部から圧力液を供給して上記配列されたワークに向けて液を押し出すようにしたことを特徴とする洗浄槽。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/10
