特許

J-GLOBAL ID：200903060851547825

空間光変調器の製造方法、及び空間光変調器

発明者： 市橋 光芳
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069945
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258202
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 高価な装置を利用する必要がなく、また製作工程も単純で、更に、量産に好適であり、しかも、膜厚の均一性が良好で、遮光性も高い遮光層を形成できる、空間光変調器の製造方法、及び空間光変調器を提供する。【解決手段】 光導電層、遮光層、光反射層及び液晶層を有し、この順に位置する積層構造体を、内側に透明電極付きの2枚の透明基板が挟持する構造の空間光変調器を製造する。その際、アルカリ可溶性バインダ-、光重合開始剤、エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマ-、及び2種類以上の着色剤を有する感光性樹脂組成物であって、色相的に実質的に黒色で、かつ膜厚1〜3μmの該組成物を形成した時に可視光領域の透過性が2以下で、かつ、可視光領域と紫外線領域との透過性の比が、1:1から20:1となる該組成物を含有する前駆遮光層をシート状に形成し、その前駆遮光層を、空間光変調器内で隣接層となる層に接触させ、更に前駆遮光層を熱によって隣接層に貼合しそれを露光して、遮光層とする。

請求項（抜粋）：

光導電層、遮光層、光反射層及び液晶層を有し、これらの層に関してはこの順に位置する積層構造体を、2枚の透明電極付き透明基板がその透明電極を内側にした状態で、挟持する構造の空間光変調器を製造する方法において、前記遮光層の形成が、(A) アルカリ可溶性バインダ-、光重合開始剤、エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマ-、及び2種類以上の着色剤、を少なくとも有する遮光性感光性樹脂組成物であって、色相的に黒色に等しいか、あるいは近く、かつ膜厚1〜3μmの遮光性感光性樹脂組成物を形成した時に可視光領域の透過性が2以下で、かつ、可視光領域の透過性と紫外線領域の透過性の比が、1:1から20:1となる遮光性感光性樹脂組成物を含有する前駆遮光層を予めシート状に形成する工程と、(B) 前駆遮光層を、空間光変調器内で隣接層となる層に接触させる工程と、(C) 前駆遮光層を熱によって隣接層に貼合する工程と、(D) 前駆遮光層を露光して、遮光層とする工程と、を有することを特徴とする空間光変調器の製造方法。