特許
J-GLOBAL ID：200903060856024871

3次元測定装置

発明者：
清水 高博

清水 高博 について

, 
伊藤 哲也

伊藤 哲也 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (22件)： 鈴江 武彦 ,  蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-108144
公開番号（公開出願番号）：特開2009-258436
出願日： 2008年04月17日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】光の反射率が異なる複数の測定対象部位を有する試料に対しても精度の高い測定を可能とする。【解決手段】メモリ65には、試料30の第1及び第2の測定対象部位に応じた光量設定データを予め記憶されている。制御ユニット60の第1の画像取得制御部62は、第1の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ66に記録する。続いて、第2の画像取得制御部63は、第2の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ66に記録する。そして、3次元測定装置は、第1及び第2の画像取得制御部62,63により取得された画像から輝度が最大の画素が撮像されたときの焦点位置から第1及び第2の測定対象部位の高さを算出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
反射率の異なる第1及び第2の測定対象部位を有する試料の光学像を拡大する共焦点顕微鏡と、 前記共焦点顕微鏡により拡大された前記試料の光学像を撮像してその画像データを出力するカメラと、 前記試料に対し前記撮像のための光を照射する光量可変型の光源と、 前記試料に対する前記共焦点顕微鏡の焦点位置をその光軸方向に可変する駆動機構と、 前記カメラ、光源及び駆動機構に接続される制御ユニットと を具備し、 前記制御ユニットは、 前記試料の第1及び第2の測定対象部位に対応して予め設定された第1及び第2の光量を表す光量設定データを記憶するメモリと、 前記メモリに記憶された前記第1の光量設定データに基づいて前記光源の発光量を設定し、この状態で前記駆動機構により前記試料に対する前記共焦点顕微鏡の焦点位置を変化させながら前記カメラにより前記試料の光学像を撮像させてその撮像画像を取得する第1の画像取得制御手段と、 前記メモリに記憶された前記第2の光量設定データに基づいて前記光源の発光量を設定し、この状態で前記駆動機構により前記試料に対する前記共焦点顕微鏡の焦点位置を変化させながら前記カメラにより前記試料の光学像を撮像させてその撮像画像を取得する第2の画像取得制御手段と、 前記第1及び第2の画像取得制御手段により取得された撮像画像からそれぞれ輝度値が予め設定した最大範囲に含まれる画素領域を抽出し、この抽出した画素領域の輝度値が前記最大範囲内となる画像が取得されたときの前記共焦点顕微鏡の焦点位置をもとに前記第1及び第2の測定対象部位の高さを算出する算出手段と を備えることを特徴とする3次元測定装置。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G01B 11/00
FI (2件)：
G02B21/00 ,  G01B11/00 H
Fターム (40件)：
2F065AA04 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF16 ,  2F065GG03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL29 ,  2F065MM07 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065NN01 ,  2F065PP02 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2H052AA08 ,  2H052AA13 ,  2H052AB05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AD07 ,  2H052AD19 ,  2H052AD33 ,  2H052AD34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3568286号公報
審査官引用 (1件)
  • レーザ顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168344   出願人：株式会社キーエンス

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