ポジ型感光性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038473
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241974
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】現像時間が制御でき、基板との接着性を高めることができるポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】アルカリ水溶液により溶解するポリアミド酸、ポリヒドロキシアミド、レボラックなどのポリマー(a)と活性化学線の照射により酸を発生する化合物(b)と、ジフェニルスルホン、ベンゼンスルホンアミドなどのスルホン基を有した化合物(c)よりなることを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ水溶液により溶解するポリマー(a)と活性化学線の照射により酸を発生する化合物(b)と、スルホン基を有した化合物(c)よりなることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (14件)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 61/14 , C08L 79/04 , C08L 79/08 , C08L101/14 , C09D161/14 , C09D179/04 , C09D179/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/032 , H01L 21/027

FI (14件)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 61/14 , C08L 79/04 Z , C08L 79/08 A , C08L101/14 , C09D161/14 , C09D179/04 , C09D179/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/032 , H01L 21/30 502 R

Fターム (40件)：

2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB29 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 4J002AA001 , 4J002BC121 , 4J002BG011 , 4J002CC051 , 4J002CM021 , 4J002CM041 , 4J002EB006 , 4J002EV217 , 4J002EV246 , 4J002EV287 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J002GQ05 , 4J038CC091 , 4J038CG031 , 4J038DA061 , 4J038DH001 , 4J038DJ031 , 4J038JC13 , 4J038NA18 , 4J038PB09 , 4J038PC03

引用特許：

審査官引用 (4件)

レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-312671 出願人：日本ゼオン株式会社
ドライ現像用感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-270750 出願人：日本合成ゴム株式会社
感度安定化ポジ作用性フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-112062 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー

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