X線顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-324589
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157900
出願日： 1991年12月09日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】試料が厚い場合にも高分解能で観察が可能な落射型X線顕微鏡を提供する。【構成】 400乃至600Åの波長領域を含むX線に対して適当な透過率及び反射率を有する材料より成る薄膜をビームスプリッタ(11)として用い、光源(10)より射出されたX線を該スプリッタを介して試料(13)に照射し、この反射光を検出器(14)で検出する。

請求項（抜粋）：

400乃至600Åの波長領域を含む光を放射するX線光源と、ビームスプリッタと、対物レンズと、X線検出器とを備えたX線顕微鏡において、上記ビームスプリッタは上記X線光源から放射されるX線を一部を反射、一部を透過せしめる薄膜より成ることを特徴とするX線顕微鏡。

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