特許

J-GLOBAL ID：200903060861143749

質量分析の方法および装置

発明者： 加藤 義昭
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232956
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074409
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】本発明はインターフェースの製造コストの低減を図った質量分析の方法および装置を提供することにある。【構成】大気圧下で生成したイオンは第1,第2,第3細孔3,5,7で隔たれた真空室4,6を通り、MS部8へ導かれ質量分析される。第1真空室4は大気圧部と隣接しており、この室を独立に排気する真空ポンプは無く、第2細孔5を有する壁に設けられたバイパス孔26を経て第2真空室6とともに共有のポンプで排気されている。第1真空室4の圧力は数100Pa、第2真空室6の圧力は数10Paとすることができる。第1真空室4においてイオン加速電圧約100Vで充分脱溶媒を達成した上で速度の広がりを押さえることができる。第2真空室6ではイオンは約10Vで加速し速度の広がりをできるだけ低く抑えることができる。

請求項（抜粋）：

大気圧下でイオンを生成し、低真空室および中間真空室を前者が後者よりも低真空となるように共通の排気系により排気し、前記生成したイオンを前記低真空室および中間真空室を介してそれらの室よりも高真空の高真空室に導き、この中で質量分析することを特徴とする質量分析法。

IPC (3件)：

H01J 49/26 ,  H01J 49/24 ,  G01N 27/62

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-311554
  
• 特開昭62-015747
  
• 特開昭62-015747