特許

J-GLOBAL ID：200903060868057562

試料ホルダ

発明者： 木塚 徳志 ,  熊澤 克芳 ,  小塚 基樹 ,  田中 信夫 ,  成瀬 幹夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-049398
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247467
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【目 的】 電子顕微鏡を用いて試料表面に蒸着を行いながら、その蒸着状態の観察に最も適した断面観察を可能にすること。【構 成】 電子銃から出射する電子線の通路の外側を囲むように配置された電子顕微鏡の鏡筒を貫通する筒状のホルダ装着部材により、前記電子線の通路に交差するホルダ軸方向に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒(11)と、前記ホルダ外筒(11)に支持され且つ試料(S)の被蒸着面(Sb)が電子線の通路に平行な状態で試料(S)を保持する試料保持部材(26)と、前記ホルダ外筒(11)に支持され且つ前記試料(S)の被蒸着面(Sb)に対向する位置に配置された蒸着材料(43)と、前記蒸着材料(43)を加熱して前記被蒸着面(Sb)に蒸着させる蒸着材料加熱装置(J)とから構成される試料ホルダ。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えた試料ホルダ、(A01)電子銃から出射する電子線の通路の外側を囲むように配置された電子顕微鏡の鏡筒を貫通する筒状のホルダ装着部材により、前記電子線の通路に交差するホルダ軸方向に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒、(A02)前記ホルダ外筒に支持され且つ試料の被蒸着面が電子線の通路に平行な状態で試料を保持する試料保持部材、(A03)前記ホルダ外筒に支持され且つ前記試料の被蒸着面に対向する位置に配置された蒸着材料、(A04)前記蒸着材料を加熱して前記被蒸着面に蒸着させる蒸着材料加熱装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (3件)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 E ,  G01N 1/28 W