特許

J-GLOBAL ID：200903060880444431

プロ-ブ

発明者： 柴田 規夫 ,  鈴木 和雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343048
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167869
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 検査光の検出特性に優れたプローブを提供すること、特に、近接場光学顕微鏡等に応用した場合に、均一な性能を保持して容易に製造できると共に、顕微鏡観察等における分解能の向上が可能なプローブを提供すること。【構成】 試料からの検査光を探査する探査部と、ここで探査した検査光を検出する検出部とからなるプローブであって、前記探査部が、前記検出部に連通する孔を備え、少なくとも前記連通孔の内壁面が光反射部材で構成され、先端部に設けられた開口部の径が光の波長以下であるもの。前記探査部が、光の波長以下の光が設けられた基板と、この基板が先端部に設けられ、少なくとも内壁面が光反射部材で構成された管状部材とからなるもの。

請求項（抜粋）：

試料からの検査光を探査する探査部と、ここで探査した検査光を検出する検出部とからなるプローブであって、前記探査部が、前記検出部に連通する孔を備え、少なくとも前記連通孔の内壁面が光反射部材で構成され、先端部に設けられた開口部の径が光の波長以下であることを特徴とするプローブ。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01N 21/17 ,  G01N 21/63 ,  G02B 6/00