特許
J-GLOBAL ID:200903060883789049
故障個所解析装置及びその方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田澤 博昭 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-283817
公開番号(公開出願番号):特開2003-091430
出願日: 2001年09月18日
公開日(公表日): 2003年03月28日
要約:
【要約】【課題】 半導体プロセスの微細化、多層配線化に伴って、困難となってきた半導体デバイスの故障個所の解析を容易に行える故障個所解析装置及びその方法を提供する。【解決手段】 故障個所を解析する機能ブロックを特定する指定ビットを記憶するコードメモリ1と、故障個所を解析する機能ブロックを動作させる命令を記憶するメモリ7と、コードメモリ1から読み出された指定ビットに対応する機能ブロックの電源供給を制御し、メモリ7から読み出された命令を実行させることで機能ブロックの故障個所を解析させる電源供給回路11,14,17を備えた。
請求項(抜粋):
半導体デバイスを複数の機能ブロックに分割し、それぞれの機能ブロックについて故障個所を解析する故障個所解析装置であって、故障個所を解析する機能ブロックを特定する指定ビットを記憶する指定ビット記憶手段と、前記故障個所を解析する機能ブロックを動作させる命令を記憶する命令記憶手段と、前記指定ビット記憶手段から読み出された指定ビットに対応する機能ブロックの電源供給を制御し、前記命令記憶手段から読み出された命令により前記機能ブロックの故障個所を解析させる機能ブロック電源制御手段とを備えた故障個所解析装置。
IPC (3件):
G06F 11/22 360
, G06F 11/22 330
, G01R 31/28
FI (3件):
G06F 11/22 360 C
, G06F 11/22 330 B
, G01R 31/28 H
Fターム (14件):
2G132AA01
, 2G132AB02
, 2G132AD01
, 2G132AD10
, 2G132AE18
, 2G132AE22
, 2G132AE27
, 2G132AG02
, 2G132AH04
, 2G132AL09
, 2G132AL11
, 2G132AL12
, 5B048AA20
, 5B048FF02
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