特許
J-GLOBAL ID:200903060885736066
パターン形成用3層積層被膜及びパターン形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-126367
公開番号(公開出願番号):特開2000-321785
出願日: 1999年05月06日
公開日(公表日): 2000年11月24日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 パターン形成方法を提供する。【解決手段】 上層から順次、感エネルギー線被膜層(A)、フィルター層(B)及び感エネルギー線絶縁性被膜形成用樹脂層(C)を積層してなり、該被膜層(A)の上層表面から照射したエネルギー線をフィルター層(B)で吸収及び/又は反射することにより下層の感エネルギー線絶縁性被膜形成用樹脂層(C)のパターン形成に悪影響を及ぼさないようにエネルギー線を調製した3層積層被膜を有することを特徴とするパターン形成用3層積層被膜。
請求項(抜粋):
上層から順次、感エネルギー線被膜層(A)、フィルター層(B)及び感エネルギー線絶縁性被膜形成用樹脂層(C)を積層してなり、該被膜層(A)の上層表面から照射したエネルギー線をフィルター層(B)で吸収及び/又は反射することにより下層の感エネルギー線絶縁性被膜形成用樹脂層(C)のパターン形成に悪影響を及ぼさないようにエネルギー線を調製した3層積層被膜を有することを特徴とするパターン形成用3層積層被膜。
IPC (4件):
G03F 7/26 511
, G03F 7/11
, H05K 3/00
, H05K 3/06
FI (5件):
G03F 7/26 511
, G03F 7/11
, H05K 3/00 G
, H05K 3/06 E
, H05K 3/06 H
Fターム (52件):
2H025AA03
, 2H025AA20
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BC13
, 2H025BC31
, 2H025BE01
, 2H025CA00
, 2H025CC08
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025DA01
, 2H025DA13
, 2H025DA14
, 2H025FA17
, 2H025FA28
, 2H025FA29
, 2H025FA47
, 2H025FA50
, 2H096AA26
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096BA06
, 2H096BA09
, 2H096CA20
, 2H096EA02
, 2H096EA12
, 2H096GA01
, 2H096HA30
, 2H096KA02
, 2H096KA03
, 2H096KA04
, 2H096KA05
, 2H096KA06
, 2H096KA08
, 2H096KA15
, 2H096KA25
, 2H096LA02
, 5E339AB02
, 5E339CC01
, 5E339CC10
, 5E339CD01
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339DD02
, 5E339DD04
, 5E339DD05
, 5E339EE05
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