特許

J-GLOBAL ID：200903060887929058

露光装置及び該露光装置を用いてデバイスを製造する方法

発明者： 大内 千種 ,  佐野 直人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017361
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226367
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 レーザー光の発振強度を安定させたままレーザー光の波長幅を狭くすることが可能な露光装置を提供すること。【構成】 レーザー1からのほぼ平行なレーザー光を波長毎に分散させるプリズム3a、3bと、プリズム3a、3bからのレーザー光を波長毎に集光する凸レンズ4と、凸レンズ4により波長毎に集光せしめられたレーザー光の内の所望の波長域のレーザー光を通過させるスリット5と、スリット5を通過したレーザー光を波長毎に平行光にする凸レンズ6と、プリズム3a、3bと角分散が同じで分散の方向が逆である凸レンズ6により波長毎に平行光にされたレーザー光を合成するプリズム7a、7bと、プリズム7a、7bからのほぼ平行なレーザー光をマスク9に照射する光学系8と、マスク8のデバイスパターンをウエハー11上に投影する光学系10とを有する。

請求項（抜粋）：

レーザーからのほぼ平行なレーザー光を波長毎に分散させる第1の分散素子と、前記第1の分散素子からのレーザー光を波長毎に集光する第1の凸レンズと、前記第1の凸レンズにより波長毎に集光せしめられたレーザー光の内の所望の波長域のレーザー光を通過させる波長選択手段と、前記波長選択手段を通過したレーザー光を波長毎に平行光にする第2の凸レンズと、前記第2の凸レンズにより波長毎に平行光にされたレーザー光を合成するための前記第1の分散素子と角分散がほぼ同じで分散の方向が逆である第2の分散素子とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D