特許

J-GLOBAL ID：200903060888949508

形状測定方法および装置

発明者： 川上 伸二
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108490
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298011
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 ヘッド形状等の測定に適した形状測定方法および装置を提供する。【解決手段】 2つの非接触の変位計を用い、一方の変位計による測定点を被測定物の表面に、他方の変位計による測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、被測定物と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位を測定し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形状を測定する。

請求項（抜粋）：

2つの非接触の変位計を用い、一方の変位計による測定点を被測定物の表面に、他方の変位計による測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、被測定物と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位を測定し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形状を測定することを特徴とする形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 21/20 ,  G11B 5/455

FI (3件)：

G01B 11/24 A ,  G01B 21/20 C ,  G11B 5/455 Z

Fターム (23件)：

2F065AA02 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065DD00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF11 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069DD20 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM02