特許

J-GLOBAL ID：200903060889947185

基板の姿勢変換装置

発明者： 小柳 哲雄 ,  山口 弘 ,  太田 明
出願人/特許権者： 株式会社スガイ
代理人 (1件)： 佐野 章吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252544
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086373
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 大型の矩形もしくは正方形の基板を汚染度の低いカセットレスで、かつ生産効率の高いバッチ式で行うウエット処理技術を提供する。【構成】 前工程からキャリアカセットに収容されて搬入される矩形もしくは正方形の基板SBを、キャリアカセットから取り出してカセットレスで搬送処理するに際し、姿勢変換装置2により、基板SBの隣接する直交2辺SBa,SBbが傾斜下辺となるように姿勢変換することにより、基板搬送装置5,7が、これら2つの傾斜下辺SBa,SBbを吊持状に支持搬送することを可能にする。これにより、簡単な構成で、矩形または正方形の大型基板SBをカセットレスでなおかつバッチ式に処理することができる。

請求項（抜粋）：

矩形もしくは正方形の基板をカセットレスでウェット処理するに際して、基板搬送処理装置が、上記基板をその隣接する2辺を傾斜下辺となるよう傾斜した状態で、これら両傾斜2辺を吊持ち支持する処理姿勢をとる基板ウェット処理装置に備えられるものであって、上記基板を同一姿勢で複数枚まとめて収容する基板保持部と、この基板保持部に収容された基板が上記処理姿勢になるように基板保持部を回動操作する回動部とを備えてなり、上記基板保持部は、上記各基板の周縁部表裏面を開閉可能にチャッキング支持する複数のチャック爪を有するチャック手段を備え、このチャック手段のチャック爪は、上記基板の出入動作時において開放状態にあるとともに、上記基板保持部の回動操作時において閉止状態にあるように駆動制御されることを特徴とする基板の姿勢変換装置。

IPC (8件)：

H01L 21/68 ,  B05C 13/00 ,  B08B 11/04 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H05K 3/26