特許

J-GLOBAL ID：200903060896269745

露光装置

発明者： 池田 正俊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182429
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015405
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 周囲の温度条件の変動に伴う複数の鏡筒間の相対変位及び投影光学系の光軸に対する基板の位置計測器の相対変位を抑制し、高い露光精度を確保可能な露光装置を提供する。【解決手段】 反射屈折型の投影光学系13の各光軸上に、レンズ20a,21a及びミラー20b,25を配置保持するために第1〜第3鏡筒18,19,23を設ける。各鏡筒18,19,23を、低熱膨張性の鉄-ニッケル二元合金(インバー)製の支持プレート22を介して、架台14上に支持する。支持プレート22の下面には、第2挿通孔42の周縁から同じくインバー製の計測器支持筒43を突出形成し、その先端近傍に焦点検出系30及びウエハアライメント装置31を取着する。

請求項（抜粋）：

マスク上に形成されたパターンの像を投影光学系を介して基板上に転写する露光装置において、前記投影光学系は少なくとも1つの光路偏向素子を含む複数の光学素子と、複数の光軸とを有し、前記各光学素子を前記各光軸上に配置して保持するための複数の鏡筒を設け、前記各鏡筒を支持する基台部材を備え、前記各鏡筒を低熱膨張性材料からなる支持部材を介して前記基台部材上に支持したことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 517

Fターム (10件)：

5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB25 ,  5F046CB27 ,  5F046DA14 ,  5F046DA26 ,  5F046DB05