特許

J-GLOBAL ID：200903060904450349

超小形機械的構造の電子スイツチ

発明者： ペーテル・ホーラ ,  ハンス・シユピース
出願人/特許権者： テミツク・テレフンケン・マイクロエレクトロニツク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233525
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129100
出願日： 1996年08月01日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【目的】 電力用電子装置により超小形機械的なやり方でシリコン上に簡単かつ安価にまとめることができる超小形機械的構造の電子スイツチを提供する。【構成】 超小形機械的構造の電子スイツチは、ドレーン2及びソース3を持つ電界効果トランジスタ1を含み、この電界効果トランジスタ1を起動させるため、第1の位置7に弾性的に保持されかつゲートとして作用する平面的な素子5が、力の作用する際第2の位置7′へ偏位せしめられる。平面的な素子として格子、板又は他の構造を使用することができる。

請求項（抜粋）：

ドレーン(2)及びソース(3)を持つ電界効果トランジスタ(1)を起動させるため、第1の位置(7)に弾性的に保持されかつゲートとして作用する平面的な素子(5)が、力の作用する際第2の位置(7′)へ偏位せしめられることを特徴とする、電界効果トランジスタを含む超小形機械的構造の電子スイツチ。

IPC (4件)：

H01H 35/14 ,  G01P 15/135 ,  H01H 21/00 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

H01H 35/14 Z ,  G01P 15/135 ,  H01H 21/00 W ,  H01L 29/84 C