特許

J-GLOBAL ID：200903060905685463

修正研磨方法、およびこの方法を実行する研磨装置

発明者： 加藤 英文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296529
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117608
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】 被研磨面の修正研磨を効率よく且つ的確に行う。【解決手段】 被研磨面2の法線3に対して研磨工具15の回転軸16を特定角度θ傾け、研磨工具15内で最も研磨量が多くなる箇所を一点(最大研磨点M)にする。そして、目的の面形状に対して、被研磨面2上で凸となる部分の頂点群である加工点群Pと、研磨工具15の最大研磨点Mとを一致させて、被研磨面2上の加工点群Pの位置を選択的に研磨する。

請求項（抜粋）：

研磨工具を自転させつつ被研磨物に対して相対移動させて、目的の面形状に対して凸部となる部分が形成されている該被研磨物の被研磨面を修正する修正研磨方法において、被研磨面の法線に対して前記研磨工具の自転軸を特定角度傾けた際に、該被研磨面と該研磨工具との接触面内で最も研磨量の多くなる最大研磨点の位置を予め調べておき、前記被研磨面の形状データを取得し、該形状データから、目的の面形状に対して凸となる加工点を求め、前記被研磨面の法線に対して前記研磨工具の自転軸を前記特定角度傾けた状態で、該研磨工具を該被研磨面に接触させ、該研磨工具を自転させつつ、該研磨工具の前記最大研磨点が前記加工点と一致するよう、該研磨工具を前記被研磨物に対して相対移動させて、該被研磨面を修正することを特徴とする修正研磨方法。

FI (2件)：

B24B 13/04 H ,  B24B 13/04 B

Fターム (10件)：

3C049AA06 ,  3C049AA11 ,  3C049AA16 ,  3C049AB01 ,  3C049AB06 ,  3C049BB02 ,  3C049BB06 ,  3C049BC01 ,  3C049BC02 ,  3C049CB01