特許
J-GLOBAL ID：200903060906309163
スライスベース剥離装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-269841
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116803
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】ワイヤソーで切断されたウェーハをスライスベースから1枚ごと剥離することができるスライスベース剥離装置の提供。【解決手段】スライスベース16との接着部分を温水中に浸漬させたウェーハ14の端面を吸着パッド62で吸着保持し、その吸着パッド62をウェーハ14の軸線に沿って垂直方向に揺動させる。ウェーハ14とスライスベース16の接着部は、温水中に浸漬されているので熱軟化しており、複数回の揺動が与えられることにより、ウェーハ14は、スライスベース16から剥離する。剥離したウェーハ14は、吸着パッド62が上昇することにより、受取パッド68に受け渡され、該受取パッド68はアーム70が前方に向け90°回転することにより、次工程にウェーハ14を搬送する搬送台車にウェーハ14を受け渡す。
請求項（抜粋）：
ワイヤソーで切断したウェーハをスライスベースから1枚ずつ剥離するスライスベース剥離装置において、熱水が貯留され、該熱水中に前記スライスベースが浸漬される熱水槽と、前記熱水中にスライスベースが浸漬されたウェーハの一方側の端面を吸着保持する吸着パッドと、前記吸着パッドを前記ウェーハの軸線に沿って移動させる移動手段と、前記移動手段に設けられ、前記吸着パッドをウェーハの軸線に沿って揺動させる揺動手段と、からなることを特徴とするスライスベース剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 311
, H01L 21/304
H01L 21/304 311 A
, H01L 21/304 311 W
