特許

J-GLOBAL ID：200903060906709684

ポジ型感光性組成物

発明者： 國田 一人 ,  土屋 光正 ,  北谷 克司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217236
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072621
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 感度が高く、しかも露光後における現像速度の速い、ポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物を、下記一般式(I)で示される芳香族ジアゾニウム塩と、アルカリ可溶性高分子化合物とから構成する。【化1】式中、Arは2価の芳香族基を示し、Y1は2価の連結基を示し、X1- はアニオンを示し、nは0又は1を示す。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で示される芳香族ジアゾニウム塩と、アルカリ可溶性高分子化合物とを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(式中、Ar :置換基を有してもよい2価の芳香族基を表わす。Y1 :2価の連結基を表わす。X1- :アニオンを表わす。n :0又は1を示す。)

IPC (4件)：

G03F 7/016 501 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-108334
  
• 特開昭63-106743