ガラス基板の研磨方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-010098
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197402
出願日： 1995年01月25日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】研磨時間を短縮し、かつ、精度の良い研磨加工を行う。【構成】固定したワークの各辺縁に対峙するようにして研磨機を設け、これらの研磨機を各辺縁に当接させた状態で同時に移動させることにより、複数の辺縁に対して同時に研磨加工を行う。

請求項（抜粋）：

吸着テーブル上の所定位置にセットしたガラス板に対し、各辺縁に対峙して4台の研磨機を備え、研磨辺縁数に応じて必要台数の研磨機を、辺縁に当接させた状態で同時に移動させることにより、各辺縁を同時に研磨することを特徴とするガラス基板の研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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