特許
J-GLOBAL ID：200903060923491188

アクティブ型除振装置

発明者：
奥 岳史

奥 岳史 について

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木村 茂樹

木村 茂樹 について

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坂田 利文

坂田 利文 について

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岡本 修一

岡本 修一 について


出願人/特許権者：
東洋ゴム工業株式会社

東洋ゴム工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-030680
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】 搭載機器荷重が大きい場合でも共振周波数を低く設定することが可能であるとともに、ピエゾアクチュエータの予荷重をその駆動効率の良い値に容易に調整することが可能で、低周波域を含めて広い範囲の振動に対して所定の除振性能および制振性能を確実かつ安定よく発揮させることができるようにする。【解決手段】 空気ばね2と、ピエゾアクチュエータ4の駆動方向の少なくとも一端側に装着されたピストン部材5及び流体通路7内に密封された作動流体6を介してピエゾアクチュエータ4の駆動変位が伝達されるピストン状部材3とにより、機器搭載台1を並列的に支持させている。
請求項（抜粋）：
機器搭載台を弾性支持する空気ばねと、上記機器搭載台に当接し支持するピストン状部材と、外部より駆動制御可能なピエゾアクチュエータと、このピエゾアクチュエータの駆動方向の少なくとも一端側に装着されたピストン部材を介して該ピエゾアクチュエータの変位を上記ピストン状部材に伝達する作動流体と、この作動流体を密封状態に封入して上記ピストン状部材と上記ピエゾアクチュエータとを接続する流体通路とを備えていることを特徴とするアクティブ型除振装置。
IPC (5件)：
F16F 15/04 ,  F16F 9/04 ,  F16F 15/02 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
F16F 15/04 A ,  F16F 9/04 ,  F16F 15/02 A ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 503 F
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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