特許

J-GLOBAL ID：200903060925177111

静電チャックおよびその製造方法

発明者： 野沢 俊久 ,  杉山 成正 ,  久本 淳 ,  池田 貢基 ,  金丸 守賀 ,  大西 隆
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024011
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219442
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 静電チャックに対して面内温度分布を均一化させるのに適当した態様の溝を加工することにより信頼性及び耐久性の向上を図りながら、試料基板の面内における処理の均一性確保に資する。【解決手段】 試料基板11とチャック本体の間にガスが充填されて使用され、静電気力で試料基板11を吸着する静電チャック19において、チャック本体の試料基板11に接する面に使用ガスの充填圧力における平均自由行程以下の深さの溝22が加工されている。この溝22の深さが10μm以下であり、また、深さの均一性が±10%の誤差範囲内であることが良い。

請求項（抜粋）：

試料基板とチャック本体の間にガスが充填されて使用され、静電気力で試料基板を吸着する静電チャックにおいて、チャック本体の試料基板に接する面に前記使用ガスの充填圧力における平均自由行程以下の深さの溝が加工されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B