特許
J-GLOBAL ID：200903060926959105
光学系評価装置及び光学系評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-251142
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087679
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【構成】1000Å以下の波長の照明光源と、数枚からなるミラーと、各ミラーの空間的に位置を決定する移動機構とを有する光学部を、該光学部により得たパタン像を検出、拡大して表示する拡大撮像部の画像を観察しながら位置調整及びミラーの性能評価を行うことを特徴とする光学系評価装置及び光学系評価方法。【効果】遠紫外線から軟X線領域で用いられる光学系の光軸、収差補正等の位置調整及び多層膜ミラーの性能評価といった光学系評価を、所定の波長帯によりモニターのパタン像を見ながら直接調整することが可能となり、短時間に高精度の評価が行える。
請求項（抜粋）：
パタンと、該パタンを1000Å以下の波長の光で投影する照明光源と、複数のミラーと、各ミラーの空間的に位置を決定する移動機構とを有する光学部と、前記光学部により得た像を検出、拡大し、その像を表示する拡大撮像部とを備えたことを特徴とする光学系評価装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G02B 7/00
, G21K 1/06
