特許
J-GLOBAL ID:200903060929645314
基板収納ケース
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
米田 潤三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-037687
公開番号(公開出願番号):特開2003-243496
出願日: 2002年02月15日
公開日(公表日): 2003年08月29日
要約:
【要約】【課題】 基板収納の頻度、回数が増しても基板と接触する部材からの発塵が抑えられ、汚染のない良好な状態で基板を収納できる基板収納ケースを提供する。【解決手段】 直方体状の収納空間を有するケース本体と、このケース本体に係合可能なケース蓋体とを備えるものとし、ケース本体の収納空間の底部に緩衝支持部材を、係合時にケース本体の底部と対向するケース蓋体の内面に緩衝支持部材をそれぞれ設け、これら緩衝支持部材は基板支持用の溝部が一定方向に沿って複数配列された溝部配列面を備え、ケース本体にケース蓋体を係合したときに、全緩衝支持部材の溝部の軸方向が一致するものとし、緩衝支持部材の少なくとも溝部配列面がニトリルゴムおよび高分子量ポリエチレンのいずれかで形成されているものとする。
請求項(抜粋):
開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間の底部に緩衝支持部材が設けられたケース本体と、該ケース本体に係合可能であるとともに係合時に前記ケース本体の底部と対向する内面に緩衝支持部材が設けられたケース蓋体とを備え、前記緩衝支持部材は一定方向に沿って基板支持用の溝部が複数配列された溝部配列面を備え、前記緩衝支持部材は前記ケース蓋体を前記ケース本体に係合したときに前記溝部の軸方向が一致するように配設され、さらに、前記緩衝支持部材の少なくとも溝部配列面はニトリルゴムおよび高分子量ポリエチレンのいずれかで形成されていることを特徴とする基板収納ケース。
IPC (3件):
H01L 21/68
, B65D 81/107
, B65D 85/86
FI (3件):
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
, B65D 81/04
Fターム (28件):
3E066AA03
, 3E066BA01
, 3E066CA01
, 3E066CA12
, 3E066FA11
, 3E066HA04
, 3E066JA04
, 3E066KA20
, 3E066NA43
, 3E096AA06
, 3E096BA20
, 3E096BB05
, 3E096CA02
, 3E096CB03
, 3E096DA05
, 3E096DB06
, 3E096DC04
, 3E096EA02Y
, 3E096FA03
, 3E096FA09
, 3E096GA11
, 5F031CA05
, 5F031DA08
, 5F031EA02
, 5F031EA10
, 5F031EA14
, 5F031EA19
, 5F031PA26
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