特許

J-GLOBAL ID：200903060929960104

光学単結晶薄膜及びその製造方法

発明者： 樋熊 弘子 ,  宮下 章志 ,  鯉沼 秀臣 ,  松本 祐司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (5件)： 曾我 道照 ,  曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-054239
公開番号（公開出願番号）：特開2004-262707
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】緻密で結晶性が高く、且つ均一な組成の、光導波路、光変調器、波長変換素子、光スイッチング素子などの各種光学用途に好適な光学単結晶薄膜及びその製造方法を提供すること。【解決手段】溶融化成分を含む溶融膜を基板上に形成する第1工程と、10Pa〜1.5kPaの空気雰囲気下又は酸化雰囲気下において、溶融膜を加熱して液体状態にし、その溶融膜に光学単結晶原料ガスを溶解させ、溶融膜と基板との界面に光学単結晶を析出させる第2工程とを有することを特徴とする光学単結晶薄膜の製造方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

溶融化成分を含む溶融膜を基板上に形成する第1工程と、10Pa〜1.5kPaの空気雰囲気下又は酸化雰囲気下において、溶融膜を加熱して液体状態にし、その溶融膜に光学単結晶原料ガスを溶解させ、溶融膜と基板との界面に光学単結晶を析出させる第2工程とを有することを特徴とする光学単結晶薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

C30B11/12 ,  C30B19/04 ,  C30B29/30

FI (5件)：

C30B11/12 ,  C30B19/04 ,  C30B29/30 A ,  C30B29/30 B ,  C30B29/30 C

Fターム (16件)：

4G077AA03 ,  4G077BC32 ,  4G077BC37 ,  4G077BC40 ,  4G077CC06 ,  4G077CG01 ,  4G077EA07 ,  4G077EJ04 ,  4G077FH08 ,  4G077FJ01 ,  4G077HA01 ,  4G077LA01 ,  4G077QA01 ,  4G077QA12 ,  4G077QA34 ,  4G077QA71