特許

J-GLOBAL ID：200903060930084296

反射ミラー保持装置及び投影露光装置

発明者： 池田 正俊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144602
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 反射ミラーの自重によるたわみを防止して、反射ミラーの光学性能を向上させるようにする。【解決手段】 凹面鏡M1は、ミラー面42を外側に向けた状態で、有底円筒状のミラー枠46の3点座50a,50b,50cと押さえ板52a,52b,52cとの間に挟持され、その裏面44側に密閉室48が形成される。この密閉室48内部の空気圧が調整されると、凹面鏡M1の裏面44側に作用する圧力によって重力(G)成分をキャンセルし、凹面鏡M1が自重によってたわまないようにすることができるため、良好な光学性能を得ることができる。

請求項（抜粋）：

一方の面に光を反射するミラー面が形成された反射ミラーを投影光学系内で保持する反射ミラー保持装置であって、前記反射ミラーを保持するとともに、当該反射ミラーとともに密閉室を構成するミラー保持部材を備え、前記反射ミラーの前記ミラー面の裏面側の前記密閉室の内部圧力が所定圧力に調整されていることを特徴とする反射ミラー保持装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/10 ,  G02B 7/00 ,  G02B 7/198 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 517 ,  G02B 5/10 Z ,  G02B 7/00 J ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/18 B ,  H01L 21/30 515 D