特許

J-GLOBAL ID：200903060931286585

光偏向装置

発明者： 石井 昭
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-345162
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186418
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 静電容量の増大を招くことなく駆動電圧を低減して、応答速度を高めること。【解決手段】 導電性又は半導電性の基板上に形成された光導波路上に、光ビームの出射側に光軸に対して逆方向に傾斜した斜辺を有した形状を有する少なくとも一対の電極を形成し、少なくとも一対の電極の一方と基板の間、及び他方と電極の間に別々に所定の電圧を印加して、光ビームを光軸に対して逆方向に偏向するようにした。

請求項（抜粋）：

導電性又は半導電性の基板と、電気光学効果を有し、前記基板上に形成された光導波路と、前記光導波路に光ビームを入射する光ビーム入射手段と、前記光導波路上に設けられ、前記光導波路内を伝送される前記光ビームの光軸上に間隔を有して位置する第1、及び第2の電極と、前記第1の電極と前記基板の間、及び前記第2の電極と前記基板の間に別々に所定の電圧を印加する電圧印加手段を有し、前記第1、及び第2の電極は、前記光ビームの出射側に前記光軸に対して逆方向に傾斜した斜辺を有した形状を有することを特徴とする光偏向装置。