特許
J-GLOBAL ID：200903060931520308
オイルフリー真空ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-231883
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071471
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 高速で排気速度が大きく、到達真空度が良いオイルフリー真空ポンプ【構成】 ピストン12が右に移動すると、電磁弁16,19が開、電磁弁17,18が閉となり、気体が電磁弁16より吸入され、電磁弁19より排出される。ピストン12が左に移動すると、電磁弁16,19が閉、電磁弁17,18が開となり、気体がピストン12の左より右に移動する。この繰り返しにより吸入パイプ側は次第に真空となる。
請求項（抜粋）：
ポンプの吸気または排気動作に同期して、吸気あるいは排気をそれぞれ行う吸気用の電磁弁および排気用の電磁弁を有するオイルフリー真空ポンプ。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
