特許

J-GLOBAL ID：200903060932550995

積層型圧電アクチュエータ

発明者： 源通 拓哉
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-052245
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258328
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】圧電セラミック層と電極層とを交互に積層した積層型圧電アクチュエータにおいて、長期駆動においてもクラックの発生がなく、かつ変位特性の劣化のない、信頼性及び耐久性に優れた積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電セラミック層11と電極層12とを交互に積層した積層型圧電アクチュエータ10の圧電セラミック層11間に挟まれた電極層12の平均厚みTを1μm〜5μmとするとともに、電極層12中に圧電セラミック粒子14を5重量%〜20重量%の範囲で含有させ、さらに上記電極層12中に部分的に形成される貫通孔15内に圧電セラミック粒子14を充填するようにする。

請求項（抜粋）：

圧電セラミック層と電極層とを交互に積層した積層型圧電アクチュエータにおいて、上記圧電セラミック層間に挟まれた電極層の平均厚みが1μm〜5μmであるとともに、上記電極層中に圧電セラミック粒子を5重量%〜20重量%の範囲で含有し、かつ上記電極層中に部分的に形成される貫通孔内に圧電セラミック粒子が充填されていることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (5件)：

H01L 41/083 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H02N 2/00

FI (6件)：

H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 S ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/18 101 B ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 Q

Fターム (4件)：

2C057AF65 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47