特許
J-GLOBAL ID：200903060934172432
ファブリペローフィルタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
矢作 和行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021882
公開番号（公開出願番号）：特開2005-215323
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：
【課題】 透過波長を狭帯域化できるファブリペローフィルタを提供すること。【解決手段】 基板10と、基板10上に設けられた固定鏡13と、当該固定鏡13に対し、所定のギャップを有して対向配置された可動鏡15とを備え、固定鏡13に設けられた電極と可動鏡15に設けられた電極との間に所定電圧を印加し、可動鏡15を変位させることによりギャップを変化させ、ギャップに対応する所望波長の赤外線を選択的に透過させるファブリペローフィルタ100において、可動鏡15の周辺部を当該周辺部に囲まれる中央部よりも変形しやすく形成した。これにより、可動鏡15変位時に中央部の変形が抑えられ、変位時における可動鏡15と固定鏡13との間のギャップが従来よりも均一となる。すなわち、ファブリペローフィルタ100を透過する赤外線の透過波長を、従来よりも狭帯域化することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に設けられた固定鏡と、
当該固定鏡に対し、所定のギャップを有して対向配置された可動鏡とを備え、
前記固定鏡に設けられた電極と前記可動鏡に設けられた電極との間に所定の電圧を印加し、前記可動鏡を変位させることにより前記ギャップを変化させ、前記ギャップに対応する所望波長の赤外線を選択的に透過させるファブリペローフィルタにおいて、
前記可動鏡の周辺部が、当該周辺部に囲まれる中央部よりも変形しやすく形成されていることを特徴とするファブリペローフィルタ。
IPC (4件)：
G02B26/02
, G01J3/26
, G01N21/35
, G02B5/28
G02B26/02 E
, G01J3/26
, G01N21/35 Z
, G02B5/28
2G020AA03
, 2G020BA12
, 2G020CA12
, 2G020CC23
, 2G020CD13
, 2G020CD22
, 2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059EE01
, 2G059HH01
, 2G059JJ03
, 2G059KK01
, 2H041AA03
, 2H041AA07
, 2H041AA21
, 2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AB15
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
, 2H048GA13
, 2H048GA25
, 2H048GA26
, 2H048GA30
, 2H048GA48
, 2H048GA52
, 2H048GA61
