特許

J-GLOBAL ID：200903060940562048

欠陥評価装置

発明者： 守矢 一男
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 辰雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090594
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281589
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 被検物体の表面に存在する傷等と内部欠陥や粒子とを明確に区別できるようにして、正確な欠陥の評価が得られるようにする。【構成】 被検物体101の観察表面103にレーザ光105を斜めに照射するレーザ照射手段、このレーザ光の屈折光109により被検物体内部の欠陥や粒子から生じる散乱光を観察表面103を介して観察する観察手段111,113,115を備えた欠陥評価装置において、主にp偏光成分を含むものと主にs偏光成分を含むものの双方の光で観察し得るようにする成分差別化手段117を具備する。

請求項（抜粋）：

被検物体の観察表面にレーザ光を斜めに照射するレーザ照射手段、このレーザ光の屈折光により被検物体内部の欠陥や粒子から生じる散乱光を前記観察表面を介して観察する観察手段を備えた欠陥評価装置において、主にp偏光成分を含むものと主にs偏光成分を含むものの双方の光で観察し得るようにする成分差別化手段を具備することを特徴とする欠陥評価装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-291552
  
• 特開昭64-088240
  
• 特開平3-264912
  
• 特開昭61-182553