多品種連続生産方法及び装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：沼形義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322214
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237095
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】半導体製造方法において各処理装置間の製品の移動をあたかもいくつかのフローショップがあるように移動し、各工程間の手間の削減、安定供給による高信頼化および多品種製造の対応を計る。【構成】各作業エリア6は、エリア内搬送系2で結ばれる同種類の処理装置3を複数台備える。エリア内搬送系2は、通信ケーブル8を介して作業エリア内コントローラ7aに連続される。作業エリア6内には、ID読み取り機11が備えられ、作業エリア6内に搬入される製品(半導体ウエーハ、又はウエーハを搬送するカセット)に付けられているコードを読み取り、作業エリア内コントローラ7aに通知する。各作業エリア6は、製品の作業エリアへの搬入、搬出を行う搬送系間継ぎ装置4を備え、搬送系間継ぎ装置4は、作業エリア間搬送系5で結ばれる。

請求項（抜粋）：

連続して作業を施す生産工程に於いて、同じ処理機能を持つ設備を集めて、作業エリアをいくつか作り、該エリア間をいくつかの搬送系で結び、該搬送系に結ばれた作業エリア間を同じ生産速度で製品を供給・生産することを特徴とする生産方式。

IPC (4件)：

B23Q 41/02 , B23Q 41/04 , G06F 17/60 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (21件)

特開平3-264245
生産装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-237080 出願人：ソニー株式会社
特開平4-113612

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