特許
J-GLOBAL ID：200903060945828070
板状部材研磨方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 勇治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065113
公開番号（公開出願番号）：特開2003-266293
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：
【要約】【課題】 研磨テープの移送及び圧接部材による研磨テープの循環平面運動の相互作用により板状部材を研磨することができると共に圧接部材は縦設された一対の支持軸により支持されているので、圧接部材の動的剛性を高めることができ、研磨テープによる研磨精度を高めることができる。【解決手段】 板状部材Wを保持可能な保持台4と、板状部材の研磨面を研磨可能な研磨テープTと、研磨テープを移送可能なテープ移送機構7と、研磨テープのテープ面を板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構8と、研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構32とからなり、上記テープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸26・26と、両支持軸を回転させる回転機構19と、支持軸の下端部間に架設される圧接部材21と、各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構20とを具備してなる。
請求項（抜粋）：
板状部材を保持台に保持し、該板状部材の研磨面に移送可能な研磨テープを圧接すると共に研磨テープを平面運動させて研磨するに際し、上記圧接部材を並列状に縦設された一対の支持軸により支持すると共に両支持軸の回転により偏心輪機構を介して圧接部材を循環平面運動させて研磨することを特徴とする板状部材研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 21/22
, B24B 1/04
, B24B 21/00
B24B 21/22
, B24B 1/04 D
, B24B 21/00 A
3C049AA05
, 3C049AA11
, 3C049CA02
, 3C049CB01
, 3C058AA05
, 3C058AA11
, 3C058CA02
, 3C058CB01
