特許
J-GLOBAL ID：200903060947146910
カーボンクラスターイオン生成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-216279
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063494
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 従来のカーボンクラスターイオンを生成させる方法の場合、レーザー照射を用いているため、イオン量が少なく実用化が困難であった。【解決手段】 本発明によるカーボンクラスターイオン生成方法は、イオン化室(2)内にカーボンクラスターを蒸着した部材(20)を配置し、カーボンクラスターが加熱されてクラスターイオンを生成する構成である。
請求項（抜粋）：
イオン源又はECR多価イオン源において、イオン化室(2)内に、予め蒸着されたカーボンクラスターを有する部材(20)を配置し、前記イオン化室(2)内におけるプラズマ又は高速電子により前記カーボンクラスターが加熱されて蒸発し、この蒸発による蒸気を前記イオン化室(2)内でイオン化又は多価イオン化させることを特徴とするカーボンクラスターイオン生成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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