特許

J-GLOBAL ID：200903060949426651

イオン加速装置

発明者： 阿川 義昭 ,  小池 正城
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095856
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266995
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】[目的] 従来より設置面積を小とし、設置コストを大巾に低減させるイオン加速装置を提供すること。[構成] イオン源3及び質量分離磁石4を内蔵させた高電圧ターミナル2を地上より所定の高さに配設させ、高電圧電源装置7により上記高電圧ターミナル2に400KVを印加し、電力供給装置5により上記イオン源3や質量分離磁石4などに電力を供給するようにしたイオン加速装置において、上記高電圧電源装置7及び上記電力供給装置5の上端部及び発電機10を上記高電圧ターミナル2の下壁部に形成した開口2a、2bに挿通させて該高電圧ターミナル2内に位置させるようにした。

請求項（抜粋）：

少なくともイオン源及び質量分離磁石を内蔵させたケーシングを地上より所定の高さに配設させ、高電圧電源装置により前記ケーシングに所定の高電圧を印加し、電力供給装置により前記イオン源や質量分離磁石などに電力を供給するようにしたイオン加速装置において、前記高電圧電源装置及び前記電力供給装置の上端部を前記ケーシングの下壁部に形成した開口に挿通させて、該ケーシング内に位置させるようにしたことを特徴とするイオン加速装置。